Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Берлин, Е. В.Код товара: 66087
Наличие:
осталось мало
Цена:
900₽
Самовывоз: Сегодня из
1 магазина
Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP. Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD.
Московский дом книги
Цена в интернет-магазине может отличаться от цены в магазинах сети.
- Вид товара:Книги
- Рубрика:Микроэлектроника. Наноэлектроника
- Целевое назначение:Производственные справочники
- ISBN:978-5-94836-519-0
- Серия:Несерийное издание
- Издательство: Техносфера РИЦ ЗАО
- Год издания:2020
- Количество страниц:461
- Тираж:100
- Формат:70х100/16
- Переплет:твердый переплет
- Автор/Редактор/Составитель:Е. В. Берлин, В. Ю. Григорьев, Л. А. Сейдман
- Вес, г.:850
- Код товара:66087
Принимаем к оплате 
66087
