МЭМС: конструкции, технологии, приложения

В книге представлены систематизированные результаты детального анализа современного состояния и перспектив развития одного из наиболее стремительного развивающихся на стыке микромеханики и микроэлектроники научно-технических направлений - микроэлектромеханических систем (МЭМС). Книга ориентирована на достаточно широкую аудиторию - от студентов, аспирантов и преподавателей технических ВУЗов, специализирующихся в области микроэлектроники, до инженеров-разработчиков микросхем и электронных систем на их основе, инженеров-технологов серийных производств, сотрудников отраслевых исследовательских лабораторий и академических институтов, специалистов радиоэлектронной, автомобильной и космической техники. В семнадцати тематических главах последовательно, на конкретных примерах рассмотрены все основные этапы создания МЭМС.