Технологии КМОП интегральных схем. Ч.1. От возникновения до нанометровых размеров элементов
Шелепин, Н. А.Книга предназначена для студентов старших курсов, магистрантов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники. Издание также представляет интерес и будет весьма полезно для научных работников, инженеров и руководителей разного уровня, занятых в области разработки, производства и применения интегральных микросхем. В книге описаны технологические маршруты, то есть последовательность технологических операций, которые применялись и применяются в процессе обработки кремниевых пластин при производстве КМОП ИС от периода становления технологии до реализации глубокосубмикронных и нанометровых транзисторов.
Московский дом книги
- Вид товара:Книги
- Рубрика:Микроэлектроника. Наноэлектроника
- Целевое назначение:Учебники и учеб. пособ.д/ высшей школы(ВУЗы)
- ISBN:978-5-94836-751-4
- Серия:Мир микроэлектроники
- Издательство: Техносфера РИЦ ЗАО
- Год издания:2026
- Количество страниц:159
- Тираж:300
- Формат:60х90/16
- Переплет:твердый переплет
- Автор/Редактор/Составитель:Николай Шелепин
- Вес, г.:310
- Код товара:6753479
